离子束加工

    11.8　离子束加工

    离子束加工（ion beam machining，简称IBM）的原理和电子束加工基本相似，也是在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速、聚焦，使之冲击到工件表面。不同的是离子带正电荷，其质量比电子大几个数量级（如氩离子的质量是电子的7.2万倍），所以离子在加速到较高速度时，离子束比电子束具有更大的冲击动能，它是利用微观的机械冲击能量，而不是靠动能转化为热能来加工的。

    离子束加工除具有电子束加工的特点外，还由于离子束密度及离子能量可以精确控制，所以离子刻蚀可以达到纳米级的加工精度。离子束加工是所有特种加工中最精密、最微细的加工方法，是当代纳米加工技术的基础。目前用于改变零件尺寸和表面物理力学性能的离子束加工有：离子蚀刻加工、离子镀膜加工和离子注入加工等。

    各种特种加工方法各有其特点和应用范围，表11-2列出了几种常用特种加工方法的综合比较，可供选用时参考。

    

    表11-2　几种常用特种加工方法的综合比较

    

    

    续表

    

    

    ＊这些工艺主要用于精微和超精微加工，不能单纯比较材料去除率。