光刻胶剥离原理与材料

    10.1　光刻胶剥离原理与材料

    光刻胶剥离是通过剥离液和光刻胶的化学反应，使光刻胶膨胀、软化并溶解。一般的剥离液由（CH₃）₂SO（dimethyl sulfoxide，DMSO）和OH（CH2）₂NH2（monoethanolamin，MEA）按7∶3的重量比组成，是无色透明，有刺激性气味的液体。DMSO在反应中起到反应溶剂、反应试剂的双重作用，使某些不能实现的反应在DMSO中能顺利进行，对某些化学反应具有加速、催化作用，提高收率，改革产品性能，在这里的作用是使光刻胶膨润。MEA的作用是浸透光刻胶/膜的界面，使光刻胶脱离并溶解。

    生产线使用的剥离液各家公司都有自己的配方，配方组成的原则主要根据采用的光刻胶的性质来决定，要求与图形膜不能发生化学反应，剥离时间要尽可能的短，剥离不能有残留，价格要低。

    表10.1所示是TFT光刻胶剥离液的参考数据。包装一般采用大型不锈钢容器（罐）。产品交付时容器必须附有标签，标明品名、编号、批号、生产日期、有效日期、储藏条件、厂家，同时要提供产品检验单。检验单须包括以下内容：

    

    表10.1　TFT光刻胶剥离液的参考数据

    

    （1）品名；

    （2）批次号码；

    （3）药品成分（化学式，化学名称）；

    （4）水分；

    （5）金属离子（Na，K，Mg，Ca，Al，Si，Sn，Fe，Cu，Mn）；

    （6）颗粒数；

    （7）厂家名及检查责任者印签；

    （8）制造及其检查年日期；

    （9）有效日期；

    （10）储存条件。

    产品交付使用时还要有保证期间，即在-10～30℃的保证温度内，从生产的日期起为12个月。因此，产品必须在生产日期后2个月以内交货。